直接使用表面粗糙的基板

2010年，染谷等人制作出了厚25μm的有機(jī)TFT陣列薄膜。此次將厚度減小到了1/10以下。為了實(shí)現(xiàn)薄型化，染谷等人直接在表面粗糙且凹凸不平的超薄薄膜基板上實(shí)現(xiàn)了以高成品率制作TFT。一般需要在薄膜基板表面涂布很厚的平坦化膜，來減輕凹凸的影響。但是，平坦化膜會(huì)導(dǎo)致整個(gè)薄膜傳感器變厚。

對(duì)去掉平坦化膜起到?jīng)Q定性作用的，是改進(jìn)柵極絕緣膜的制造方法。柵極絕緣膜的厚度僅為數(shù)nm，所以最容易受到基板表面粗糙的影響。如果柵極絕緣膜的形成不充分，介電擊穿就會(huì)導(dǎo)致TFT無法工作。染谷等人此次通過采用可以形成較厚柵極絕緣膜的方法，減輕了基板表面凹凸不平的影響。具體而言，通過采用陽極氧化法，在柵極電極表面形成了厚達(dá)19nm的氧化膜。

另外，此次的柵極絕緣膜采用由該氧化膜(無機(jī)絕緣膜)和厚2nm的有機(jī)絕緣膜組成的雙層構(gòu)造。通過在氧化膜表面形成有機(jī)絕緣膜，提高了在其上形成的有機(jī)半導(dǎo)體的配向性，從而確保了TFT的特性。

有望用來測(cè)量肌電、心電及體溫等

此次開發(fā)的有機(jī)TFT陣列薄膜折至彎曲半徑為5μm的程度也不會(huì)損壞。而且，據(jù)稱將其浸入生理食鹽水兩周以上，也不會(huì)發(fā)生明顯的電氣特性劣化。并且已確認(rèn)，將其伸縮233%，電氣特性及機(jī)械特性仍不會(huì)降低。因此，可將其與傳感器相組合，裝在有弧度曲面上，用來讀取溫度及壓力的變化。

染谷等人此次作為有機(jī)TFT陣列薄膜的應(yīng)用示例，開發(fā)了薄膜壓力傳感器。對(duì)傳感器使用了施加壓力時(shí)電阻會(huì)發(fā)生變化的材料，用TFT來讀取電阻的變化。今后通過多種傳感器元件與有機(jī)TFT陣列的結(jié)合，“還有望用作能夠計(jì)測(cè)肌電、心電、體溫、心律、血壓等人體信息的醫(yī)療及健康用傳感器”。

此次的薄膜壓力傳感器采用了外置電源單元。染谷等人已于2011年開發(fā)出了厚2μm的有機(jī)太陽能電池，設(shè)想將其結(jié)合起來以供給電力。