英特爾還計(jì)劃從2025年開(kāi)始采用ASML的High-NA Twinscan EXE光刻機(jī)進(jìn)行批量制造 (HVM)，屆時(shí)該公司可能開(kāi)始使用其18A (~1.8 nm) 制造技術(shù)。

由于英特爾在第一代極紫外光刻 (EUV) 技術(shù)方面明顯落后于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手臺(tái)積電和三星，因此希望率先采用具有高NA的下一代EUV工具來(lái)提供更高的分辨率和生產(chǎn)力。

ASML總裁兼首席技術(shù)官，Martin van den Brink指出與當(dāng)前EUV系統(tǒng)相比，我們對(duì)EUV技術(shù)路線規(guī)劃是在降低復(fù)雜性、成本、周期時(shí)間和能源的情況下提供持續(xù)的光刻技術(shù)改進(jìn)，芯片行業(yè)需要在未來(lái)十年推進(jìn)價(jià)格向經(jīng)濟(jì)實(shí)惠發(fā)展。

EUV 0.55 NA的設(shè)計(jì)旨在從2025年開(kāi)始實(shí)現(xiàn)多個(gè)未來(lái)節(jié)點(diǎn)，這是業(yè)內(nèi)首次部署，隨后將采用類似密度的內(nèi)存技術(shù)。在 2021年7月的投資者日上，ASML分享了其EUV 路線圖，并指出High-NA技術(shù)有望在2025年開(kāi)始支持生產(chǎn)制造。

作為對(duì)此前發(fā)生的火災(zāi)回應(yīng)，ASML CEO，Peter Wennink在一份聲明中表示，“我們柏林工廠的部分建筑物發(fā)生火災(zāi)的預(yù)期影響已包含在2022年的增長(zhǎng)預(yù)測(cè)中”，“根據(jù)我們目前的了解，相信可以處理好這場(chǎng)火災(zāi)的后果，并不會(huì)對(duì)2022年的系統(tǒng)輸出產(chǎn)生重大影響?！?/p>

崔歡歡