雖然沒有EUV技術(shù)，但ASML的沉浸式DUV光刻機依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片，中芯國際此前也表態(tài)下兩代工藝N+1、N+2（相當于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不會上EUV光刻機。
與EUV光刻機動輒1億美元以上的售價相比，DUV光刻機要便宜很多，但也要3000-5000萬美元，還要有數(shù)目不菲的安裝服務費用，足以讓很多小公司望而卻步。
中芯國際沒有公布擴產(chǎn)的工藝具體是什么，但99%可能是14nm工藝，這是2020年中芯國際重點中的重點，去年底產(chǎn)能不過1000片/月，今年3月將達到4K，7月達到9K，12月達到15K。
根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法，1000片/月的產(chǎn)能就差不多要1億美元的投入，15K晶圓/月的產(chǎn)能意味著15億美元的投資。
放在以前，這樣的投資是不劃算的，不過現(xiàn)在這兩年情況不同了，中芯國際的14nm及未來的7nm工藝無論如何都是要上的。
